鸿浩半导体建立了先进的精密加工平台，可全部国产化泵的零部件。自主研发的干式真空泵，优化干泵结构设计以降低能耗，拥有新型冷却结构、内建热氮气吹扫功能模式和零部件的设计和加工技术；除内建热氮气吹扫功能模式外，还增加了智慧绿能模式、待机功能模式、警报设定模式，共计4种各种模式，可在制程空档降转速时进一步节能、根据客户端使用情形进行专属节能设定。内建温度及电流界面，可进行有warning/alarm设定功能，类似主机台的interlock，本模式功能可直接在干泵人机界面上进行操作设定，将数据做提前监控，以防发生异常时直接触发主机台的数据监控后产生跳机。